设备介绍一体式等离子处理系统设备

当前，更多行业开端提议更高的需要—在不改观产物本质的底子上引入新本能、新功效，用来提拔产物的良率、价钱、拓宽产物运用畛域。等离子体做为物资第四态，其高活性与载能性，在不改观任何物体本质特点底子上，为物体表面带来更多增值增能的变动性。

此篇，咱们就首先讲解下稷以科技的“一体式等离子处置系统配置“—Triton

Triton-运用畛域

面向泰半导体商场产业级客户与研发型客户操纵需要安排的范用型等离子处置配置，合用于等离子冲洗、活化以及刻蚀等多种运用。配置可在严酷处境下不变运转，得到高度均一化的处置成效。

金属键合前处置：经过等离子处置去除焊盘表面的金属氧化层，提拔后续键合工艺的良率与结协力。

塑封前处置：经过等离子活化样本表面，提拔塑封料的结协力，裁减分层、空洞等不良的孕育。

底部填充前处置：等离子活化提拔胶体在表面的起伏性，消除空洞与气泡，加强填充成效。

光刻胶去除：去除表面残胶，孕育纯洁、活化的表面。

表面粗化与微蚀：消除表面应力，使材料更易分离。

Triton-运做特点

13.56MHz射频电源与主动般配系统，具备良好的不变性与可反复性。

灵巧的电极布局配置与优化的气体馈入、散布计划，保证大宗量处置的平均性。

精确平安的反响源供给系统，可知足多种工艺需要。

PLC与工控机供给不变的经过遏制，配置运转的及时参数经过显示屏直觉浮现。

系统不变牢固，易于调养与保护。

Triton-产能数据对照（以4寸晶圆为例）

已在LED行业，芯片封装行业大范围投入量产。

产物本质的产能，平均性都高度提拔，到达36片每炉，炉内平均性可达80%以上。

配置的集体安排紧凑，占大地积和往常的保守配置比拟，能够裁减20%以上。

Triton-配置尺寸

Triton-合营客户

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此篇，Triton-做为JETPLASMA的紧要配置讲解，而在稍后，咱们会讲解咱们另外业余产物线的配置，以及其配置已在合营客户畛域的的胜利操纵案例。

JETPLASMA更高效、更环保技艺一等离子体正在为更多产物带来表面的改观。改观、高效、精密效劳于各畛域的业余用户。咱们是业余的等离子体运用集体办理计划供给商，为您的产物带来改观！

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